Сухой Вакуумный Насос

Выбор безмасляного (сухого) насоса для форвакуума и высокого

Описание: Многие производители устанавливают на форвакуумный насос дополнительный насос Рутса, в результате чего примерно на порядок вырастает предельный вакуум, и до нескольких раз — производительность. Так, характерная производительность таких систем обычно 600-2500 м3/ч, а предельный вакуум — 0, 005-0, 0001 мбар. Кроме того, существуют специальные решения для откачки камер больших объемов или для работы с высокими газовыми нагрузками с производительностью в десятки тысяч м3/ч.
Также существенной частью рынка безмасляных механических форвакуумных систем являются установки роста различных кристаллических структур — поли- и монокристаллического кремния для изготовления подложек микроэлектронной техники, солнечных батарей и плоскопанельных дисплеев, сапфира для разнообразных промышленных применений и т. п. Данные приложения предъявляют повышенные требования к надежной безостановочной работе откачных средств в условиях высоких газовых нагрузок и при наличии твердых примесей в откачиваемом газе.

Лидирующими технологиями в данной области являются когтевые, винтовые и многоступенчатые насосы Рутса. Это полностью бесконтактные насосы, откачка в которых обеспечивается вращением роторов специальной формы, зазоры между которыми очень малы — до микрометров, поэтому уровень обратного потока газа также крайне мал. Форма роторов когтевого насоса показана на рис. 1, винтового — на рис. 2, а многоступенчатого Рутса — на рис. 3.

Рис. 1. Когтевой форвакуумный насос

Описание: http://images.allexpo.ru/209/file1103.jpg сухой вакуумный насос Спиральный насос Описание: xds2
Похожие страницы